国产光刻胶项目落户太仓半导体原材料国产化进程提速

时间 : 2023-04-04 09:20:09 来源 : 上海有色金属网

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近日，卓芯杰（苏州）半导体材料科技有限公司国产光刻胶项目落户苏州太仓。太仓科技消息显示，该项目由新加坡南洋理工大学刘颖果博士团队领衔，旨在突破半导体材料“卡脖子”技术，研发193nm ArF光刻胶产品。 (详情)

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